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            TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

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            TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

            TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

            產(chǎn)品描述


            3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
            TA4030F-01-03_TA系列半導體機器人
             
            • ● 采用閉環(huán)伺服控制
            • ● 可選配免電池絕對式編碼器
            • ● 可根據(jù)設備布局定制底座和伸展軸行程
            • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

            臂長

            200/260/320/400mm

              額定/最大負載

             3kg

            搬運物

            ≤Φ300mm晶圓

            新時達眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

            關(guān)鍵詞:

            新時達眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

            規(guī)格參數(shù)

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